规格：

靶材外径：70mm, 100mm, 152mm

安装方式：背包外装式，插入侧装式

磁场发散角：标准，较小

磁场强度：普通，强

特点：

端头部分：

•            端头内部绝缘处理，外露件不导电；

•            端头绝缘采用进口PEEK材质，保证端头强度与绝缘性能；

•            端头采用大电流电刷，保证阴极大电流稳定工作；

•            接线电缆直接与电刷连接，提高导电效果；

•            端头密封轴喷涂超高硬度涂层，超长密封寿命；

•            进口定制油封，大大延长油封寿命；

磁棒部分：

•            磁钢自身多重涂层防护；

•            磁钢与水隔离，根源上杜绝失效风险；

•            高靶材利用率：70%-80%；

•            多重检测，磁场均匀性优于+/-2%；

•            磁场均匀性可调节，400-1500Gauss

•            磁场强度可根据要求定制：300-1000Gs；

•            磁场发散角小：更多靶材沉积到基片上。

功能：

用于各类金属和非金属靶材的溅射沉积，生产装饰、光学及各类功能膜层

应用范围：

真空镀膜领域生产装饰、光学和各类功能膜

图片、细节图：